在精密測量領(lǐng)域，工具顯微鏡憑借其獨特的功能與的性能，成為的重要設(shè)備。它是一種集光學(xué)瞄準(zhǔn)與坐標(biāo)測量為一體的精密光學(xué)儀器，主要由光學(xué)系統(tǒng)、機械系統(tǒng)和測量系統(tǒng)構(gòu)成。

從光學(xué)系統(tǒng)來看，工具顯微鏡配備了多種高倍率物鏡和目鏡，可將微小物體放大數(shù)十倍甚至數(shù)百倍，使觀測細節(jié)纖毫畢現(xiàn)。機械系統(tǒng)則保障了工作臺移動的精準(zhǔn)與穩(wěn)定，其導(dǎo)軌精度，確保在測量過程中位置偏差極小。測量系統(tǒng)一般采用光柵尺或編碼器，能精確獲取測量數(shù)據(jù)，精度可達微米級。

工具顯微鏡的應(yīng)用范圍極為廣泛。在機械制造行業(yè)，它可用于測量各種精密零件的尺寸、形狀和位置精度，像復(fù)雜的模具、精密的軸類零件等；在電子制造領(lǐng)域，能對微小的電子元器件，如芯片引腳間距、線路板布線寬度等進行精準(zhǔn)測量；在科研領(lǐng)域，也能助力研究人員對微觀結(jié)構(gòu)進行分析和測量。

在操作時，先將被測物體放置在工作臺上，通過光學(xué)系統(tǒng)進行對焦，使物體成像清晰。然后利用測量系統(tǒng)，按照直角坐標(biāo)或極坐標(biāo)方式對物體的尺寸、角度等參數(shù)進行測量。測量數(shù)據(jù)會實時顯示在顯示屏上，方便記錄與分析。